国内光刻机之殇：入华 32 年 ASML 出货 700 多台

中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机。具体来说，就是EUV（极紫外光源）光刻机。目前，世界上能够制造EUV光刻机的，只有一家公司，它就是荷兰光刻机巨头ASML（中文名为阿斯麦）。实际上，作为一家外企，ASML进入到中国市场已经超过30年，可以说是渊源深厚。但是，由于商业之外的原因，ASML无法向中国市场出口EUV光刻机，尽管它自己其实是非常乐意的。背后的始作俑者，还是美国。1ASML与中国市场的深厚渊源中国大陆市场，一直是ASML在全球范围内最重要的市场之一。以2020年为例，ASML在第二季度总共卖出了61台光刻机（包括新设备和二手设备），在第三季度卖出了60台——这其中，有超过24台是卖给了中国大陆。按照ASML全球副总裁、中国区总裁沈波的说法，2020年第二、第三季度，公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。当然，这些出售到中国大陆的光刻机，不包含EUV设备。对此，沈波表示：ASML必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的，我们对全球客户都一视同仁，只要是我们能够提供的技术和设备，我们都会全力支持。可以看到，如果排除外界因素的干扰，ASML自身是很有诚意与中国合作的。雷锋网了解到，ASML成立于1984年；当时，市面上尚有多家生产光刻机的公司，而ASML位居最后一名。不过，仅用2年时间，ASML就研制出了型号为PAS2500的晶圆步进式光刻机（Stepper），它可以生产VLSI一代的芯片，这使ASML在市场上站稳了脚跟，并拥有了一定的名气。值得一提的是，早在1988年，ASML在进军亚洲之时，就向中国发售了最早一台设备。经过三十多年的深耕，ASML在中国大陆已经出售700多台光刻机装机，涵盖了ASML公司的（EUV设备之外）的绝大部分类型产品。不仅如此，在2000年天津成立分公司的基础上，ASML目前在中国设有12个办公室，11个仓储物流中心，2处技术开发中心（深圳和北京，做计算光刻、量测等开发），拥有1000多名员工。此外，ASML还在中国专门建设了1个培训中心，培养光刻行业人才。正如沈波所言，在遵守法律法规的同时，ASML全力支持客户和中国集成电路行业的发展，在每个阶段ASML和中国集成电路业界都有着很好的合作。他还表示，ASML在中国的整体状态越来越好，未来服务会更多样化，对中国的投入也会越来越大。2EUV光刻机未能出口中国的根本原因，是美国作为全球最大的光刻机企业，ASML独自享受着EUV光刻机技术带来的商业发展便利，但同时也不得不承受大国竞争和冲突下的沉重政治枷锁。一个典型的案例，就是EUV光刻机向中国出口受阻。EUV光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品，由于采用了极紫外线，它的最小工业节点到了22nm-7nm，可以说是世界上最先进的光刻机设备——而这种设备，只有ASML能造出来。在EUV技术的研发层面，ASML也经历了艰苦跋涉的过程。实际上ASML从1999年就开始EUV光刻机的研发工作，原计划在2004年推出产品，但直到2010年才研发出第一台EUV原型机，2016年才实现下游客户供货——甚至到2019年，第一款7nmEUV工艺的芯片才正走向商用。不过，在美国主导的《瓦森纳协定》（WassenaarArrangement）的影响下，这一高端设备对中国的出口受到严格限制——一直到2018年才发生转机。2018年4月，中芯国际向ASML订购了一台EUV光刻机，价值1.2亿美元，预计2019年年初交货——后来此事被报道后，ASML回应称，对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁，且向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。当时，荷兰政府的确向ASML发放了出口许可证。然而，天有不测风云，这场交易从一开始就受到阻碍。根据知情人士的说法，美国立即盯上了这笔交易——接下来的几个月里，美方官员至少四次与荷兰官员开会，讨论可否直接封杀这笔交易。但雪上加霜的是，2018年12月1日，ASML元件供应商Prodrive的一家工厂又发生重大火灾，ASML当时公开表示，2019年年初的出货预计将遭递延。与此同时，美国政府继续就这笔交易进行背后运作。2019年元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的“安全风险”；随后在2019年6月，美国国务卿蓬佩奥访问荷兰，再次向荷兰政府施加压力，要求停止这笔交易。值得一提的是，2019年6月30日，荷兰政府向ASML颁发的出口许可证到期。2019年7月，荷兰首相MarkRutte访问美国，美国白宫高级官员向他展示了一份情报报告，内容是所谓“中国获得光刻机的可能后果”。据路透社报道，这次访问后不久，荷兰政府决定不再续签这份许可证——此后ASML未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。此后，关于EUV光刻机向中国出口，ASML的官方说法一直是：公司仍在等待新许可证申请的批准。而针对媒体对于美国施压的报道，荷兰外交部也在2020年在1月15日表示：在决定是否签发出口许可证时，荷兰政府要权衡经济和安全利益。由此，ASML向中国市场出售EUV光刻机的计划，就此搁置。3小结2020年，随着美国对中国半导体领域的打压，国人对于光刻机的关注度越来越高，而ASML也因此受到关注。但能否向中国出售EUV光刻机，的确非ASML所能左右。可以确定的是，对于向中国市场出售光刻机一事，ASML一直是非常积极的。根据ASML中国区总裁沈波的最新说法，ASML已经向荷兰政府提交出口EUV光刻机的申请，目前还在等待荷兰政府的出口许可证。而荷兰政府，则还在等待美国政府的态度。当然，目前美国政府的态度也存在不确定性，特朗普眼下必然无心考虑此事，恐怕一切还要等到明年新一届美国政府正式上任之后。扩展阅读：《