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三星基于 EUV 的 1z 纳米 DRAM 量产，背后技术细节揭秘
三星电子近期将极紫外（EUV）光刻技术应用在基于1z-nm工艺的DRAM上，并且完成了量产。半导体分析机构TechInsights拆解了分别采用EUV光刻技术和ArF-i光刻技术的三星1z-nm工艺DRAM，它认为该技术提升了三星的生产效率，并减小了DRAM的核心尺寸。TechInsights还将三星的与美光的1z-nm工艺DRAM进行了对比，三星的DRAM在芯片超单元尺寸（CellSize）方面同样较小。一、三款1z-nmDRAM芯片使用EUV技术，核心尺寸缩小18%三星在2019年末大批量生产了100万颗采用1x-nm工艺和EUV技术的DRAM。紧接着在去年年初，三星电子首次宣布将研发分别使用了ArF-i技术和EUV技术的1z-nmDRAM。如今，三星已经在量产的1z-nmDRAM上应用了EUV技术。目前三星对采用1z-nm工艺的8GBDDR4、12GBLPDDR5和16GBLPDDR5进行了EUV技术升级。12GBLPDDR5和16GBLPDDR5DRAM已经应用在三星GalaxyS215G系列的手机中，其中S21、S21+和S21Ultra三款手机于2021年1月发布。三星GalaxyS21Ultra的RAM中使用的是12GBLPDDR5芯片，而S21和S21+手机的RAM组件中使用了16GBLPDDR5芯片。TechInsights称，三星1z-nm工艺的生产效率比以前的1y-nm工艺高出15%以上。D/R（DesignRule）从1y-nm工艺的17.1nm降低到1z-nm工艺的15.7nm，核心尺寸也从53.53mm2减小到43.98mm2，比之前缩小了约18%。▲三星1y-nm与1z-nmDRAM参数对比三星电子将其最先进的1z-nm工艺与EUV光刻技术集合在了12GBLPDDR5芯片上，而同样基于1z-nm工艺的16GBLPDDR5芯片则使用了非EUV光刻技术。电子行业媒体EETimes猜测，很可能三星最初开发的LPDDR5产品是采用ArF-i和EUV光刻技术混合的SNLP（StorageNodeLandingPad）/BLP（BitLinePad）技术，现在它生产的所有1z-nm工艺LPDDR5芯片都是基于EUV光刻技术，其芯片可能由它在韩国平泽市的第二条生产线进行制造。三星在12GBLPDDR5芯片上采用了EUV光刻技术，其关键尺寸约为40nm，S/A（senseamplifiercircuitry）区域线宽为13.5nm。通过使用EUV技术，可以改善S/A区域中BLP封装技术的线边缘粗糙度（LER），并减少了桥接/短路缺陷。▲采用了EUV技术（右）与没有采用EUV（左）的1z-nmDRAMBLP对比二、美光暂不使用EUV技术，超单元尺寸仅有0.00197?m2与美光1z-nmDRAM0.00204?m2的超单元尺寸相比，三星的1z-nmDRAM超单元尺寸只有0.00197?m2。三星1z-nmDRAM的D/R为15.7nm，美光的则是15.9nm。▲三星、美光1z-nm工艺DRAM参数对比目前美光对基于1z-nm工艺的DRAM，均使用基于ArF-i的光刻技术，并且宣布暂时不会在1α-nm和1β-nm的DRAM中采用EUV光刻技术。而三星将在1α-nm、1β-nmDRAM上继续使用EUV技术。三星的DRAM超单元尺寸和D/R正在随着技术的进步而越变越小。三星DRAM超单元尺寸变化如下图所示，包括从3x-nm到1z-nmDRAM尺寸。▲三星DRAM尺寸趋势三星DRAM的D/R趋势则如下图所示。虽然DRAM超单元的尺寸和D/R缩放变得越来越难，但是三星仍将1z-nmDRAM的D/R减小到15.7nm，比1y-nm工艺缩小了8.2%。▲三星DRAMD/R趋势结语：三星技术领先，美光、SK海力士伺机而动因为存储芯片行业存在成本高昂、供求敏感、周期时间较长等特性，美光等其他厂商因成本原因对EUV技术比较保守。但是三星作为世界存储芯片龙头，对待EUV技术较为积极，一直在探索EUV技术在存储芯片方面应用的道路，现在已经在这一方向上取得了领先优势。不过在2020年DRAM强力的市场涨幅和ICInsights等研究机构对市场的积极预期背景下，美光、SK海力士等存储芯片厂商或许会加大在新技术、工艺制程方面的投入，同时利用成熟技术的成本优势，与三星进行竞争。
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【民政部回应何时恢复婚姻登记】民政部社会事务司二级巡视员杨宗涛表示，婚姻登记场所是人群聚集场所，部分地区暂停婚姻登记工作是对人民群众安全负责。未停止登记的地方推广用电话、网络、qq群预约登记，控制登记人数，分批分段登记，减少人员聚集和在登记机关停留时间。已停止婚姻登记地方将根据当地疫情控制情况逐渐恢复。
15:54欧洲央行副行长金多斯：欧洲央行还没有达到逆转利率。宽松政策的副作用更明显了。
15:54财经网站Forexlive分析师Justin Low评瑞士1月CPI月率：尽管通胀年率保持稳定，但核心通胀率有所下降，这一点令人更加担忧。这只是进一步巩固了瑞士央行维持现有货币政策不变，并可能在未来寻求更多宽松措施的观点。
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15:53欧元兑美元EUR/USD短线波动不大，现报1.0952。
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15:52英镑兑美元GBP/USD短线走低13点，现报1.2890。
15:52【宁德时代“供电”国产特斯拉 有望拉低售价20%】全国乘联会秘书长崔东树分析认为，“随着特斯拉国产化率提升和产能爬坡，未来特斯拉国产车型的价格下探空间还是很大的。”他预计今年下半年，国产Model 3车型的售价就有望降至25万元，降幅接近20%。（新京报）
15:51【内蒙古：对不裁员或少裁员企业返还上年度50%失业保险费】据内蒙古新型冠状病毒肺炎疫情防控工作指挥部消息，疫情期间，内蒙古对不裁员或少裁员的企业返还上年度实际缴纳失业保险费的50%，对面临暂时性经营困难的中小企业，返还标准提高到上年度6个月企业及其职工缴纳社会保险费的50%。
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15:51【振华股份：疫情导致下游客户开工推迟 产品库存上升】振华化学公告，公司目前生产经营稳定，所有产能均正常开工，原材料采购能基本满足生产需要，由于疫情导致下游客户开工推迟，公司出货量减少，产品库存有所上升。公司将根据客户需求、疫情及市场变化，适度调整生产经营策略，尽可能保持生产经营的稳定。
15:50环旭电子2月10日晚间公告，公司2020年1月合并营业收入为23.27亿元，较去年同期的合并营业收入减少27.83%，较2019年12月合并营业收入环比减少37.23%。
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